PLANOTEC GSR + PARTIKELANALYSE-Kalibrierkit

REM Kalibrierkit, bestehend aus 2 Testproben:
a) Testprobe mit synthetischen GSR-Partikeln und
b) Probe zur Durchführung aller notwendigen Tests bei der Prüfung von REM/EDX-Systemen im Einsatzbereich der automatisierten Partikelanalyse

 a): Testprobe mit synthetischen GSR-Partikeln

Die SPS-Testproben wurden zur Justierung, Kalibrierung und Validierung analytischer REM/EDX-Systeme bei der automatisierten Analyse von GSR Partikeln (Schmauchspuranalyse) entwickelt. Sie sind aber auch für andere Anwendungen einsetzbar. So sind sie auch als Probenmaterial für Ringversuche nach ISO-Guide 43-1 und 2 bzw. DIN/ISO 5725 geeignet, da sie in idealer Weise die DIN/ISO-Forderungen nach identischem Probenmaterial erfüllen.

Mit einem speziellen patentrechtlich geschützten Verfahren werden auf die Oberfläche eines 8 mm x 8 mm großen Glas-Carbon Chips Partikel aufgebracht, die die chemischen Elemente Blei, Antimon und Barium (Pb/Sb/Ba) enthalten. Die Partikel sind auf einer Fläche von 6 mm x 6 mm statistisch verteilt, aber an definierten Plätzen und in Partikelgrößengruppen im Bereich von 0,5 bis 2,0 µm. Zur Verbesserung der elektrischen Leitfähigkeit wurde die Probe abschließend mit einer dünnen Kohlenstoff-Schicht bedampft.

Diese "sauberen" Testproben sind besonders nützlich für schnelle System-Validierungszwecke, wie sie bei üblichen Qualitätssicherungsverfahren verlangt werden.

Die Testproben sind aufgrund des Herstellungsprozesses mit einer spezifizierten Anzahl von Pb/Sb/Ba-Partikeln versehen. Es ist jedoch nicht auszuschließen, dass aufgrund des speziellen Herstellungsprozesses einige der Pb/Sb/Ba-Partikel fehlen bzw. zusätzliche Partikel vorhanden sind. Daher wird jede Testprobe individuell geprüft und die exakte Anzahl an Pb/Sb/Ba-Partikel zertifiziert.

• 8 mm x 8 mm Glassy-Carbon Träger, präpariert auf speziellem Stiftprobenteller
• Ca. 150 Partikel bestehend aus Blei, Barium und Antimon mit Größenabstufungen von 0,5 µm, 0,75 µm, 1,0 µm, 1,25µm und 2,0 µm im Durchmesser (die exakte Anzahl wird bei Lieferung der einzelnen Testproben im Zertifikat genannt)
• 4 Partikel bestehend aus Blei, Barium und Antimon mit einem Durchmesser von ungefähr 12 µm
• gesamter REM-Probenträger zusätzlich C-bedampft
• jede Testprobe ist mit einer eigenen ldentifikationsnummer versehen und wird mit einer genauen X/Y-Darstellung der Pb/Sb/Ba-Partikel geliefert
• Zertifizierung: alle 0,5 µm, 0,75 µm, 1,0 µm, 1,25µm und 2,0 µm Partikel sind durch Überprüfung im Rasterelektronenmikroskop analystisch bestätigt und werden mit einem Vollständigkeitszertifikat der aufgebrachten Pb/Sb/Ba-Partikel geliefert.

b): Probe zur Durchführung aller notwendigen Tests bei der Prüfung von REM/EDX-Systemen im Einsatzbereich der automatisierten Partikelanalyse

Die Probe weist synthetische Partikel auf, die zeilenartig angeordnet sind. Jede Zeile besteht aus 20 Partikeln, die 150 µm Abstand aufweisen und somit eine äquidistante Matrix ergeben. Die entsprechende Partikelgröße ist jeweils am Zeilenbeginn angegeben.

Größen: 2,0 / 1,8 / 1,6 / 1,5 / 1,4 / 1,3 / 1,2 / 1,1 / 1,0 / 0,9 / 0,8 / 0,7 / 0,6 / 0,5 / 0,4 µm Ø.

Jeder Partikel besteht aus PbO, Sb2O3, BaF2.

Folgende Forderungen bestehen an ein automatisiertes Partikelanalysesystem :

• Bildkalibrierung / Tischkalibrierung :
• Vollständiges Absuchen der Probe (keine nicht untersuchten Zwischenräume)
• Geringe oder keine Feldüberlappungen (Mehrfachdetektionen möglich)
• Keine Felddrehungen (Bildkoordinatensystem nicht zu Tischkoordinatensystem ausgerichtet)
• Keine Flightback Korrekturfehler (Partikel wird bei verschiedenen Scangeschwindigkeiten nicht wiedergefunden)
• Keine mechanischen Backlash-Fehler (Absolutfehler der gespeicherten Tischkoordinaten)
• EDX / Partikelklassifizierung
• Genaue Strahlpositionierung während der EDX-Messung
• Ausreichende Spektrenqualität / Auto-ID Funktion
• Qualität des Quantifizierungsergebnisses
• Richtige Klassifizierungszuordnung