Ultra-Flat 6" Silizium Wafer

Für hohe Ansprüche bieten wir einen Ultra-Flat Wafer mit einer Oberflächenrauheit von typischerweise 2 - 3 Å und Ebenheit 1 nach SEMI Standard (über die Länge 57,5 ± 2,5mm) an.

Eigenschaften für 6" (150 mm) Ultraflachwafer:

• Orientierung: <100>
• Typ: P / Dotierstoff: Bor
• Spezifischer Widerstand: 10-20 Ohm / cm
• Dicke: 675 µm ± 20 µm
• TTV: ≤ 2 µm
• Kette: ≤ 30 µm / Bogen: ≤ 20 µm
• Partikel: ≤ 30 @ ≥ 0,2 um
• Vorderseite: Poliert
• Rückseite: Geätzt
• Flach: 1 pro SEMI-Standard
• Verpackungseinheit: 1 Stück