Ultra-Flat 4" Silizium Wafer

Ultraflacher 4 "-Siliziumwafer für anspruchsvolle Substratstudien. Kann auch als Substrat für AFM- oder SEM-Proben verwendet werden, indem der Wafer mit einem Scriber und der Glasbrechzange in kleinere Stücke geschnitten wird. Der 4" Ultraflach-Siliziumwafer wird in einem 4" Waferträger geliefert. 

Eigenschaften für 4" (100 mm) Ultraflachwafer:

• Orientierung: <100>
• Typ / Dotierstoff: P / Bor
• Note: Prime / CZ Virgin
• Spezifischer Widerstand: 10 - 20 Ohm-cm
• Dicke: 525 µm +/- 20 µm
• TTV: <4,00 µm
• SFPD: <2,0 µm
• Kette: ≤ 30 µm
• Bogen: ≤ 20 µm
• Partikel: ≤ 20 @ ≥ 0,3 µm
• Vorderseite: poliert
• Rückseite: Geätzt
• Flat: 2 pro SEMI-Standard
• Rauheit: Typischerweise 2-3 Å