Pelcotec LMS-20T Kalibrierstandard - individuell auf NIST rückführbar

Der Pelcotec™ LMS-20 Kalibrierstandard wurde speziell für die präzise Kalibrierung bei geringer Vergrößerung entwickelt. Nützlich für großflächige Partikelanalyse, GSR-Analyse, SEM-Anwendungen mit geringer Vergrößerung und LM-Anwendungen im Auflicht. Nützlich im Bereich von 5x bis 1000x Vergrößerung.

Die Spezifikationen sind:

• Die gesamte Kalibrierfläche beträgt 20 mm x 10 mm mit gekreuzten Linien und 0,01 mm Teilungen.
• 75nm Cr-Linien auf ultraflachem Siliziumsubstrat
• sichtbares Fadenkreuz alle 0,1 mm mit größeren sichtbaren Fadenkreuzen bei 0,5 mm und 1 mm über die gesamte Fläche
• Seriennummer auf jedem Pelcotec™ LMS-20-Kalibrierstandard eingeätzt
• NIST rückverfolgbare Version ist Pelcotec™ LMS-20T (Zertifikat auf Chargenebene wird bereitgestellt)
• Die individuell vollständig zertifizierte Version ist Pelcotec™ LMS-20C (mit individuellem Zertifikat)
• Die Si-Chip-Größe beträgt 22 mm x 11 mm mit einer Dicke von 675 µm +/- 10 µm, <100> Orientierung
• Bor-dotierte Siliziumscheibe mit einem spezifischen Widerstand von 5-10 Ohm/cm
• Erhältlich unmontiert oder montiert auf größeren SEM-Probenhaltern

• Hier:
• Silizium-Chip 22 mm x 11 mm mit Kalibrierfläche 20 mm x 10 mm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Probenteller
• Verpackungseinheit: 1 Stück