Pelcotec G-1T Kalibrierstandard Testobjekt- rückführbar auf NIST

Das G-1 Kalbrierungs-Testobjekt mit 1 µm pitch (Periodizität) ist sehr geeignet für die Vergrößerungskalibrierung und Überprüfung der Bildverzerrung in dem Bereich der Vergrößerung von x100 bis x10.000. Es kann im REM, FIB und Lichtmikroskop verwendet werden. Zudem kann ein Präparat, zum Beispiel Pulver, direkt auf das G-1 aufgebracht werden.

Spezifikationen:

• Die gesamte Kalibrierfläche beträgt 3 x 3 mm mit einem Raster von 1 µm
• Linien bei 10 µm und 100 µm sind zur leichteren Orientierung dicker
• Umfasst 1 µm, 10 µm und 100 µm Teilung
• 300 nm +/- 30 nm tiefe Linie geätzt in ultraflachem Si
• Die Linienbreite beträgt 200 nm bei 1 µm, 300 nm bei 10 µm und 400 nm bei 100 µm Linienabstand
• Die Präzision beträgt 1 µm +/- 0,025 µm mit einer Rechtwinkligkeit besser als 0,01°
• Seriennummer auf jedem Pelcotec™ G-1-Kalibrierstandard eingeätzt
• NIST rückverfolgbare Version ist Pelcotec™ G-1T
• Die individuell vollständig zertifizierte Version ist Pelcotec™ G-1C
• Die Größe der Si-Chips beträgt 4 mm x 4 mm mit einer Dicke von 525 µm +/-20 µm, Orientierung <100>
• Bor-dotierte Siliziumscheibe mit einem spezifischen Widerstand von 5-10 Ohm/cm
• Lieferbar unmontiert oder montiert auf SEM-Probenhalterungen

• Hier:
• Silizium-Chip 4 mm x 4 mm mit 1 µm Raster und Linien bei 10 µm und 100 µm
• Bescheinigung: rückführbar auf NIST
• Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
• Verpackungseinheit: 1 Stück