Auflösungstestobjekte auf Silizium Substrat

Dieser Bereich von Gold-auf-Silizium- und Zinn-auf-Silizium-Proben wurde speziell für die Verwendung in Verbindung mit Linienbreiten-Kalibrierungswafern oder anderen Testsystemen entwickelt, bei denen die Dicke einer herkömmlichen Probe ein Problem darstellt. Die Proben haben die gleichen Spezifikationen wie die größeren Standardkalibrierproben, werden jedoch auf sehr dünnen Siliziumsubstraten hergestellt. 

• Material: Zinn auf Silizium
• Größenbereich der Zinnkugeln: 5 nm - 30 nm
• Siliziumsubstrat 5 mm x 5 mm x 500 µm
• Verpackungseinheit: 1 Stück

Die Probe wird unmontiert geliefert.