TipChecker für AFM-Sonden "Budget Sensors"

Bei der Abbildung einer Probe mit dem AFM ist es unerlässlich, den Zustand der AFM-Sonde zu kennen, da dieser die Qualität und Korrektheit der Abbildung bestimmt. Der TipChecker ist eine SPM-Testobjekt zur schnellen, bequemen und effizienten Bestimmung des AFM-Spitzenzustands. Bereits bei einer einzigen Scanlinie werden die deutlichen Unterschiede zwischen den Spitzen sichtbar. Der TipChecker bietet eine schnelle und einfache Möglichkeit, verschiedene AFM-Spitzen in Bezug auf Spitzenform und Schärfe zu vergleichen und zu kategorisieren. Das TipChecker-Muster ermöglicht die Überprüfung, ob die Spitze noch gut ist, Verschleiß zeigt oder stumpf oder gebrochen ist, ohne dass ein ganzes Bild gescannt oder eine REM-Inspektion durchgeführt werden muss. Das Tipchecker-Muster funktioniert perfekt mit der auf dem Markt erhältlichen Softwarelösungen Auto Tip Qualification und Tip Characterization.

Die Abbildungen zeigen einen Vergleich zwischen verschiedenen AFM-Sondenspitzen, die zur Abbildung der TipChecker-Probe verwendet wurden. Der Scan ist 1x1µm für alle Bilder, die Höhe beträgt 100nm. Jedes Bild ist mit einem repräsentativen Querschnittsscan dargestellt. Die Bilder wurden mit der TAP 300AL-G AFM-Spitze aufgenommen.

Das TipChecker Testobjekt besteht aus einer extrem verschleißfesten Dünnschicht, die auf einen Siliziumchip aufgebracht wurde. Die Dünnschichtbeschichtung weist eine körnige, scharfkantige Nanostruktur auf, die sich ideal für die umgekehrte Abbildung der Spitze einer AFM-Sonde eignet. Die Chipgröße des TipCheckers beträgt 5 mm x 5 mm und ist vollständig mit der Dünnschicht beschichtet. Der TipChecker ist auf eine magnetische Scheibe aus Edelstahl mit einem Durchmesser von 12 mm geklebt und kann sofort in Ihr AFM-Set eingesetzt werden.

• Chipgröße = nutzbare Fläche: 5 mm x 5 mm
• Material: Silizium-Wafer-Chip mit scharfkantiger Nanostruktur
• Aufgeklebt auf magnetische Scheibe aus Edelstahl Ø 12 mm
• Verpackungseinheit: 1 Stück