PLANOTEC-Silizium-Testobjekt (montiert) mit 10 µm - pitch Gitter

Dieses Testobjekt aus einkristallinem Silizium ist 5 mm x 5 mm groß und weist durch Elektronenstrahl geformte, klar sichtbare Quadrate mit einer Periodizität (pitch) von 9,87 µm ± 0,05 µm auf. Die im Bild sichtbaren Linien sind Gräben mit einer Tiefe von ca. 300 nm (kann bei einer neuen Charge von diesem Wert etwas abweichen). Die Trennlinien sind etwa 1,9 µm breit; breiter und vorteilhaft für die Lichtmikroskopie sind Markierungslinien im Abstand von 500 µm. Es eignet sich bestens zum Vergrößerungsvergleich und zur Feststellung von Bildverzeichnungen, insbesondere auch bei automatisierten Zähleinrichtungen. Wo kritische Messungen ausgeführt werden müssen, kann die Probe direkt auf das Silizium-Quadrat montiert werden; somit ist der Maßstab auf der Abbildung zu sehen.

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 9,87 µm ± 0,05 µm
• Trennlinien 1,9 µm breit, Markierungslinien im Abstand von 500 µm
• Montiert auf JEOL Probenteller Ø 12,5 mm 
• Verpackungseinheit: 1 Stück