PLANOTEC Silizium-Testobjekt mit 5 µm - pitch Gitter

Testobjekt aus einkristallinem Silizium. Außenmaße 5 mm x 5 mm. Wie bei Art.-Nr. S1930 ff. handelt es sich um elektronenstrahlgeformte Quadrate, hier mit einer Periodizität von 5 µm +/- 0,05 µm (Abbildung b), d.h. die Seitenlänge der Quadrate beträgt ca. 4 µm und die Grabenbreite beträgt ca. 1 µm. Die Grabentiefe beträgt ca. 250 nm. Jedes Testobjekt zeigt eine eindeutige Seriennummer. Die Artikelnummer S2051 beinhaltet 1 Testobjekt mit PTB-Kalibrierschein.

• Silizium Testobjekt 5 mm x 5 mm mit Quadraten mit einer Periodizität von 5 µm ± 0,05 µm
• Grabenbreite ca. 1 µm breit, Seitenlänge der Quadrate ca. 4 µm
• Montiert auf HITACHI Probenträger Ø 15 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
• Verpackungseinheit: 1 Stück