CHESSY-Testobjekt

Mehr als 1,6 Millionen Quadrate aus Gold mit 1 µm Kantenlänge ergeben auf einer Siliziumunterlage ein vierfach ineinander verschachteltes Schachbrettmuster mit Außenabmessungen von 5 mm. Die Gesamtgröße ist 1 cm². Das kleinste Schachbrett hat eine Größe von 10 µm x 10 µm, dieses wiederum erzeugt ein Schachbrett von 100 µm x 100 µm und dieses eines von 1 mm x 1 mm Größe. Letztlich füllen diese ein Feld von 5 mm x 5 mm. Ein Rahmen um dieses Feld von 10 µm Breite hat eine Außenkantenlänge von 5,04 mm. Die Genauigkeit der Maße ist < 200 nm. Die Orthogonalität ist < 1 Bogensekunde. Dieses Testobjekt dient im Rasterelektronenmikroskop zur Vergrößerungskalibrierung im Bereich von x 20 bis x 50.000, zur Überprüfung von Bildverzerrungen und zur Abschätzung des Auflösungsvermögens an den Kanten der Goldquadrate.

• Silizium-Testobjekt mit 1 µm-Quadraten aus Gold
• Schachbrett im Schachbrett Muster auf einer Fläche von 5 mm x 5 mm
• Kleinstes Schachbrett 10 µm x 10 µm
• Verpackungseinheit: 1 Stück