CD Kalibrierstrukturen (CRITICAL DIMENSION) 10-5-2-1-0,5 µm

Die CD-Kalibrierstrukturen sind neben allgemeinen Anwendungen von speziellem Interesse für Mikroskopanwender und Prüfingenieure, die mit Hochleistungs-REM oder Atomkraftmikroskopen Messungen von kritischen Distanzen durchführen (zum Beispiel Halbleiter-Industrie). Der 4,8 mm x 4,5 mm große Standard aus Silizium zeigt ein Schachbrett-Muster mit einer Seitenlänge von jeweils 480 µm. Dieses kann verwendet werden, um die Bildparameter zu optimieren und Verzerrungen zu kontrollieren. Auf dem Standard befindet sich zentral eine Serie von Mustern mit jeweils 5 Linien (Tiefe ca. 150 nm), jedes Muster gekennzeichnet mit seinem "pitch" (Periodizität): 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm und 0,5 µm. Jeder Standard ist mit seiner eigenen individuellen Seriennummer versehen. Dieser Standard ist auch durch die PTB zertifiziert erhältlich. Gemessen werden jeweils die "pitch"-Maße: Von der "rechten Schulter" der jeweils zentrale Linie eines Musters bis zur nächsten "rechten Schulter" der danebenliegenden Linie.

• "Critical Dimension" CD-Kalibrierstruktur
• Strukturgrößen: 10 µm - 5 µm 2 µm - 1 µm - 0,5 µm
• nicht zertifiziert
• Verpackungseinheit: 1 Stück