Pelco Siliziumnitrid Lochfilm mit einer Porengröße

Es wurden fortschrittliche MEMS-Technologien angewendet, um viele Verbesserungen in diese wirklich einzigartige Holey-Siliziumnitrid-Trägermembran der nächsten Generation zu integrieren. Löchermembranen oder Trägerfolien werden auch als perforierte oder gemusterte Folien bezeichnet; Es gibt keine Folie oder Membran, die die Löcher bedeckt. Die Plattform für diesen löchrigen Siliziumnitrid-Trägerfilm ist der spannungsarme 200-nm-Trägerfilm aus amorphem Siliziumnitrid auf einem kreisförmigen 3-mm-Siliziumrahmen mit einem Fenster von 0,5 mm x 0,5 mm. Es stehen zwölf Lochgrößen von 100 nm bis 5 µm zur Verfügung.

Dieses Design hat eine Reihe von Vorteilen gegenüber bisher angebotenen Produkten:

• Große Freifläche
• Eng gepackt, höhere Porendichte durch hexagonales Porenmuster
• Elastizität der Membran hinzugefügt
• Praktische Lochgröße für Experimente
• TEM Standard Kreisform und Größe
• EasyGrip™ Kante für verbesserte Handhabung

Die PELCO® Siliziumnitrid-Trägerfolien sind beständig gegen Lösungsmittel, Säuren und Basen und ermöglichen dynamische Experimente direkt auf der Lochmembran. Die Siliziumnitrid-Trägerfolien ermöglichen Hochtemperaturexperimente / -bilder bis 1000 °C. Filme können einfach mit Glimmentladungs- oder Plasma-Reinigungstechniken gereinigt werden. Sie bieten auch einen kohlenstofffreien Hintergrund für die TEM-Bildgebung und -Analyse. Durch die sauberen Herstellungstechniken werden die Schmutzpartikel vermieden, die häufig auf Siliziumnitrid-Trägerfilmen anderer Hersteller zu finden sind.

Produktspezifikationen:

Definierende Parameter für die PELCO® Holey-Siliziumnitrid-Trägerfolien sind:

• Membrandicke: 200 nm für zusätzliche Elastizität
• Fenstergröße: 0,5 mm x 0,5 mm
• Porendurchmesser: Die Größen liegen innerhalb von 10 % des Durchmessers
• Muster: Eng gepackte hexagonale Anordnung von Zeilen und Spalten - siehe Tabelle
• Perforierter Bereich: Siehe Tabelle
• Nominale Porosität: Bereich zwischen 22,3 % und 22,8 %
• Rahmendicke: Die Silizium-Trägerstruktur entspricht dem 200-µm-Standard. Dies ermöglicht den Einbau in Standard-TEM-Halter und ergibt einen stabilen Stützrahmen
• Oberflächenrauheit: Der RMS (Rq) beträgt 0,65 nm +/- 0,06 nm, was eine mittlere Rauheit (Ra) von 0,45 nm +/- 0,02 nm ergibt
• Rahmendurchmesser: TEM-Standardscheibe mit 3 mm Durchmesser, voll kompatibel mit normalen TEM-Haltern und mit EasyGrip™ -Kanten für eine verbesserte Handhabung
• Verpackung: Die PELCO® Holey Silicon Nitride-Trägerfolien werden unter Reinraumbedingungen in der PELCO® # 160 TEM Grid Storage Box verpackt. Jede Box enthält 10 Trägerfilme.

Einzelporengrößen: