Silizium Rahmen ohne Trägerfilm, Dicke 200µm

Die Pelco Silizium-Rahmen haben einen Außendurchmesser von 3 mm und eine Dicke von 200 µm. Die Oberseite besteht aus Silizium und die Unterseite (mit der größeren Öffnung) hat eine 15 nm Schicht Si3N4. Der Seitenwinkel der Rahmen beträgt 35,26°. Die Rahmen werden unter Reinraumbedingungen verpackt. Sie werden zum Beispiel als Trägerrahmen verwendet, an die man mit FIB hergestellte TEM-Lamellen befestigt. Zudem dienen sie als Trägerrahmen für dünne Filme, Folien, Drähte und Fasern. Sie können auch als Maske für die Dünnfilm-Forschung verwendet werden (deposition mask).

• Silizium-Rahmen Ø 3 mm x 200 µm
• Oberseite reines Silizium, Unterseite mit 15 nm Si3N4 beschichtet
• 9 Fenster 0,1 mm x 0,1 mm
• Verpackungseinheit: 10 Stück