REM - Titan - Testobjekt - 292 nm ( Hochauflösung )

Kalibrierstandard für AFM, REM, Auger und FIB. Dieses titanbeschichtete Testobjekt ( auf Siliziumsubstrat ) mit periodischen Strukturen von nominal 292 nm wurde mit holographischen Methoden hergestellt. Es ergibt hohen Kontrast und ist sehr stabil. Die genauen Maße liegen jedem Testobjekt bei ( das Bildbeispiel zeigt ein pitch - Maß von 292 nm ). Die Genauigkeit der Maße beträgt ± 1 %. Es kann mit Beschleunigungsspannungen von 1 kV bis 30 kV verwendet werden und dient zur Überprüfung der Vergrößerung im Bereich von x 5000 bis x 200.000. Die Höhe der Linien beträgt ca. 30 nm und die Linienbreite ca. 130 nm ( beide Maße sind nicht kalibriert ).