Pelcotec G1 - Si - Kalibrierungs - Testobjekt mit 1 Mikrometer - pitch Gitter

Das G-1 Kalbrierungs - Testobjekt mit 1 µm pitch ( Periodizität ) ist sehr geeignet für die Vergrößerungskalibrierung und Überprüfung der Bildverzerrung in dem Bereich der Vergrößerung von x100 bis x10.000. Es kann im REM, FIB und Lichtmikroskop verwendet werden. Zudem kann ein Präparat, zum Beispiel Pulver, direkt auf das G-1 aufgebracht werden. Die Siliziumchip - Größe beträgt 4 mm x 4 mm bei einer Dicke von 525 µm +/- 10 µm, Orientierung <100>, Bor dotiert, mit einem Widerstand von 5 – 10 Ohm/cm. Der Kalibrierbereich hat eine Größe von 3 mm x 3 mm mit einem 1 µm – pitch. Um die Orientierung zu erleichtern, sind die 10 µm und 100 µm – Linien dicker. Die 300 nm +/- 30 nm tiefen Linien sind einem ultra - flachen Siliziumchip eingeätzt. Die Linienbreite beträgt 200 nm bei der 1 µm – Struktur, 300 nm bei 10 µm und 400 nm bei der 100 µm – Linie.

Die Präzision ist 1 µm +/- 0,025 µm bei einer Abweichung zur Senkrechten von unter 0,01°. Jedes Testobjekt trägt seine eigene Seriennummer. Die auf NIST ( National Institute of Standards ) rückführbare Version ist das Pelcotec™ G-1T, die nach NIST zertifizierte Version ist das Pelcotec™ G-1C.

                             1µm Pitch Lines                                                10µm Pitch Lines                                  SEM Image Shows 1µm Pitch