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CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

Die Pelcotec™ CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards werden auf einem ultraflachen Siliziumsubstrat mit einer präzisen 50 nm Chromschicht für die Strukturen bis zu 5 µm und einer Kombination aus 50 nm Gold über 20 nm Chrom für die Strukturen von 2 µm bis 100 nm hergestellt. Die Cr- und die Au/Cr-Schicht auf Silizium bietet sowohl in der SE- als auch in der BSE-Abbildung einen ausgezeichneten Kontrast. Die Strukturen sind einfacher zu identifizieren als auf Standards mit geätztem Silizium. Da das Siliziumsubstrat, die Chrom- und die Chrom/Gold-Strukturen alle leitfähig sind, gibt es bei diesem Kalibrierstandard keine Aufladungsprobleme. Aufgrund seiner robusten Konstruktion kann der CDMS-Standard in einem Plasmareiniger gesäubert werden.

Die kleineren Strukturen sind zur einfachen Navigation und schnellen Kalibrierung verschachtelt. Die Genauigkeit der Strukturmaße liegt bei 0,3 % oder besser. Die tatsächliche Größe des Standards beträgt 2,5 mm x 2,5 mm und einer Dicke von 675 µm ±10 µm. Es gibt keine Beschichtung auf der Si-Oberfläche. Jeder Pelcotec™ CDMS-Kalibrierungsstandard hat eine eindeutige Identifikationsnummer.
Sie sind entweder unmontiert oder auf SEM-Haltern A-R montiert erhältlich. Für AFM-Anwendungen ist die Pelcotec™ CDMS auf einer 12 mm AFM-Scheibe montiert, für LM-Anwendungen auf einem 25 x 75 mm großen Glasträger.
Die Probe kann auch auf einer kundenspezifischen Halterung Ihrer Wahl präpariert werden.

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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CDMS Critical Dimensions and Magnification Standards

Bewahren Sie den Pelcotec™ CDMS-Kalibrierstandard in einem Vakuum-Exsikkator wie z. B. dem PELCO-®-Vakuum-Exsikkator für Stiftprobenteller, Art.-Nr. 16179, auf.

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CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 687-1

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
unmontiert
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.228,25 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T A 687-1A

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stift 7,9 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T B 687-1B

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 14,3 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T C 687-1C

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T D 687-1D

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 15 mm x 15 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T E 687-1E

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T F 687-1F

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 687-1G

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: auf vom Kunden gestellten Probenträger
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.244,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T K 687-1K

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T L 687-1L

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 25 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T M 687-1M

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12,2 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T O 687-1O

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Probenteller
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T P 687-1P

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 15,7 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T Q 687-1Q

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 25 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T R 687-1R

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe 687-1AFM

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: Ø 12 mm AFM-Scheibe
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1C Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), nach NIST zertifiziert 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger 687-1S

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: nach NIST zertifiziert
Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 1.363,00 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 683-1

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar aus NIST
unmontiert
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T A 683-1A

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stift 7,9 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T B 683-1B

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenteller (Stiftlänge 14,3 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T C 683-1C

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 9,5 mm x 9,5 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T D 683-1D

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 15 mm x 15 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T E 683-1E

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar aus NIST
Probenträger: Ø 15 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T F 683-1F

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 12,7 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 6 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T G (vom Kunden gestellter Probenträger) 683-1G

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: vom Kunden gestellt
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 665,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T K 683-1K

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 15 mm x 6 mm mit M4-Gewinde
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T L 683-01L

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 25 mm x 6 mm mit M4 Gewinde
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 625,54 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T M 683-1M

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückrührbar auf NIST
Probenträger: Ø 12,2 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T O 683-1O

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 31,7 mm x 6,47 mm Cambridge S4 Probenteller
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T P 683-1P

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 12,7 Stiftprobenträger (Siftlänge 15,7 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T Q 683-1Q

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 25 mm x 10 mm
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T R 683-1R

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 25,4 mm Stiftprobenträger (Stiftlänge 9,5 mm)
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 12mm AFM Scheibe 683-1AFM

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: Ø 12 mm AFM-Scheibe
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *

CDMS-0,1T Vergrößerungsstandard, 2 mm - 100 nm (montiert & unmontiert), rückführbar nach NIST 1 Stück 1T 25 x 75 mm Glas-Objektträger 683-1S

Strukturgrößen: 2 mm, 1 mm, 0,5 mm, 0,25 mm, 10 µm, 5 µm, 2 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, 100 nm
Bescheinigung: rückführbar auf NIST
Probenträger: 25 mm x 75 mm Glas-Objektträger
Verpackungseinheit: 1 Stück

ab 539,70 € *