3-D Test-Raster TG3D-3000/20 Quadrate (montiert auf AFM-Scheibe)

Das Test-Raster TG3D-3000/20 mit seiner wirklich dreidimensionalen Struktur ist für die gleichzeitige Kalibrierung in X-, Y- und Z-Richtung, die laterale Kalibrierung von SPM-Scannern und den Nachweis jeglicher lateraler Nichtlinearität, Hysterese, Kriech- und Kreuzkopplungseffekte vorgesehen.

Ein Silizium-Chip mit einer SiO2 -Schicht für die Rasterstruktur. Das 3-dimensionale Muster besteht aus kleinen Quadraten mit 20 nm ± 1,5 nm. Periodizität 3 µm ± 0,05 µm. Das Raster befindet sich auf dem 5 mm x 5 mm Si-Chip in der Mitte über einen Bereich von 3 mm x 3 mm. Bemerkung : Die Präzision der Höhe basiert auf den Messungen von 5 Rastern und zufällig ausgewählt aus einer Serie von 300 Rastern auf einem von der PTB zertifizierten TGZ-20 Raster (mit einem kalibrierten SPM). Die Stufenhöhe kann von der spezifizierten Höhe innerhalb 10 % abweichen (Beispiel: 22 nm ± 1,5 nm).

• 3-D Quadrate in SiO2 Schicht auf Si-Wafer Chip
• Quadrathöhe ca. 20 nm +/- 1,5 nm
• Quadratgröße ca. 1,5 µm Kantenlänge +/- 0,15 µm
• Periode (pitch) 3 µm +/- 0,05 µm
• Chipgröße ca. 5 mm x 5 mm x 0,5 mm
• Effektiv nutzbare Fläche ca. 3 mm x 3 mm
• Montiert auf 12 mm Durchmesser AFM-Scheibe
• Verpackungseinheit: 1 Stück